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              新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002

              簡要描述:

              新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002
              ? 電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
              ? 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性)
              ? 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設計可地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
              ? 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
              ? 內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
              ? 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
              ? AOP驅(qū)動,額定壓力為75 ps

              更新時間:2024-11-01
              訪問量:2002

              新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002
              工作原理:
              派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導體應用。
              930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導體應用中*的工藝污染。
              該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供和免維護的使用壽命。
              930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕和泄漏完整。
              閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。
               Vericlean™ 是派克專有的UHP不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。 
              930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。
              這些材料結(jié)合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時度的耐腐蝕和大循環(huán)使用壽命。
              930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開 - 關(guān)位置指示。
              還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
              930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試,以確保在苛刻的UHP應用中,保有其能和。

              • 通用型,使用壽命長,結(jié)構(gòu)緊湊
              • 用于減壓閥出口控制,氣體控制面板和取樣分析系統(tǒng)
              • 常開和常閉兩種形式可選
              • 多種氣控執(zhí)行壓力可選
              • 多種手柄形式可選
              • 用于減壓閥出口控制閥,氣體控制面板和分析取樣系統(tǒng)
              壓力等:250psig
              溫度范圍: -26℃-66℃;
              連接方式:卡套、NPT、PT以及ISO螺紋連接;
              閥體部分材質(zhì)為SS316,哈氏合金和黃銅可選;
              • 過流關(guān)斷閥
              • 手動和氣動控制可選
              • 閥門功能不受安裝位置影響(可水平,豎直,傾斜安裝)
              • 六種壓力/流量設定范圍
              • 焊接接頭和1/4"NPT內(nèi)螺紋接頭可選
              • 清晰的顯示操作位置—"打開(重置)"或者"自動(關(guān)閉)"

              新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002

               

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